技術(shù)編號(hào)：5271880
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及具有具備執(zhí)行器的MEMS(微型機(jī)電系統(tǒng))元件的半導(dǎo)體裝置。 背景技術(shù) 近年，具有利用微細(xì)加工技術(shù)形成的可動(dòng)結(jié)構(gòu)的MEMS元件的開(kāi)發(fā)日益興盛。作為主要的MEMS元件，例如，有可變電容、開(kāi)關(guān)、傳感器、陀螺儀、鏡面器件等。在這種MEMS元件中，有使用在施加電壓時(shí)變形的壓電體的壓電型MEMS元件。此處，作為用作可變電容的壓電型MEMS元件的一例，有美國(guó)專(zhuān)利第6359374號(hào)說(shuō)明書(shū)及美國(guó)專(zhuān)利第6355498號(hào)說(shuō)明書(shū)。此美國(guó)專(zhuān)利第6359374號(hào)說(shuō)明書(shū)及美國(guó)...
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