技術(shù)編號：5272183
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。對于微型^j的^^連材料的原位應(yīng)用^Hf涉及鄉(xiāng)裝置。 背景絲對于微型裝置例如絲電路^t型機電系統(tǒng)(MEMS)的制逸確保可靠性 和產(chǎn)出率是兩個決定性的任務(wù)。典型地，在制造微型裝置中，在^H^晶片上制造多種^t型裝置。然后^l^晶片分離^每個包^-個或更多單獨微型裝置的單個單元片(die)。為了在周圍環(huán)嫂中涉及(on)單個單元片的品質(zhì)保證， 常常測^t型裝置的電^光學(xué)性能。為了測試目的，電和光學(xué)信號需要適當(dāng) ^k^X^每個微型裝置中的電路中。來自微型裝置的輸出...
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