技術編號：5272203
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于互補金屬氧化物半導體和微機電系統(tǒng)工藝相結合的技術， 具體涉及。背景技術可變電容是壓控振蕩器(vco)電路核心器件之一，其主要性能指標有調(diào)節(jié)范圍和品質(zhì)因數(shù)?？勺冸娙菥唧w實現(xiàn)方法有橫向移動上下極板改變有效面積，實現(xiàn)電容值可變； 改變上下極板間離來改變電容值；外加電場等外界因素，改變電容極板間介質(zhì)的介電常數(shù)調(diào)整電容值； 改變PN結電容兩端反向電壓來調(diào)整電容值；VCO對可變電容調(diào)節(jié)范圍和品質(zhì)因數(shù)性能有嚴格要求，傳統(tǒng)CMOS工 藝制作的PN結可變電容有較大...
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