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基于電鍍工藝的微機(jī)械測(cè)試探卡及制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5272210

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本發(fā)明涉及一種基于微機(jī)械方法實(shí)現(xiàn)的圓片級(jí)芯片測(cè)試探卡及制作方 法,尤其涉及基于電鍍工藝的微機(jī)械芯片測(cè)試探卡及其制作方法,屬于微電 子機(jī)械系統(tǒng)領(lǐng)域。技術(shù)背景近年來(lái),隨著微電子技術(shù)的不斷進(jìn)步,集成電路制造產(chǎn)業(yè)得到迅猛發(fā)展。 集成電路芯片生產(chǎn)的過(guò)程中主要包括前端加工工藝與后端封裝測(cè)試工藝。其 中,后端封裝測(cè)試工藝已經(jīng)占據(jù)了整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程的大部分成本。所以,在前 端加工工藝與后端封裝測(cè)試工藝之間加入圓片級(jí)芯片測(cè)試,已經(jīng)成為降低芯 片成本的一個(gè)必要手段。探卡是圓片級(jí)芯...
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