技術(shù)編號(hào):5272234
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。LIGA(德語(yǔ)Lithographie、Galvanoformung和Abformungd的縮寫)技術(shù)是二十世紀(jì)八十年代出現(xiàn)的三維微結(jié)構(gòu)立體加工技術(shù),它包括深層X射線光刻、微電鑄和微復(fù)制等三個(gè)基本工藝過程,首先通過深層X射線光刻制備PMMA微結(jié)構(gòu),然后在PMMA微結(jié)構(gòu)中電鑄填充金屬鎳并加厚以形成模具,如果需要,可以用上述金屬模具通過模壓或壓鑄批量復(fù)制塑料微結(jié)構(gòu)。由于LIGA技術(shù)制備的微結(jié)構(gòu)側(cè)壁平滑陡峭、線條精細(xì)且具有極大的深寬比,可以加工厚度達(dá)2毫米的PM...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。