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技術(shù)編號(hào)：5273260

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本發(fā)明提供一種電鍍沉積銅(Electro-Chemical Deposition Copper，ECD-Cu)裝置，尤指一種改良的電鍍沉積銅裝置，可避免電鍍沉積銅薄膜生成空穴。背景技術(shù) 隨著積體電路的積集度不斷增加，金屬連線的RC延遲(RC time delay)效應(yīng)將可預(yù)期地會(huì)影響到元件操作效能。若欲改善此一狀況可以采用電阻值較低的金屬做為金屬導(dǎo)線或是降低金屬導(dǎo)線間的介電層的寄生電容。銅制程是一個(gè)解決RC延遲效應(yīng)的可行方案。近兩年，一些制程技術(shù)的改進(jìn)，例...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。

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• 鐘老師：功能配合物能源催化轉(zhuǎn)化
• 余老師：設(shè)計(jì)和制備新能源電極材料研究材料在氫氣、氧氣、二氧化碳等能源小分子電催化轉(zhuǎn)化中的應(yīng)用，通過先進(jìn)表征手段和理論模擬計(jì)算理解催化位點(diǎn)和反應(yīng)機(jī)理，力圖發(fā)展幾種具有應(yīng)用前景的電催化劑材料。
• 匙老師：多酸團(tuán)簇、金屬有機(jī)框架材料的合成性能研究與計(jì)算模擬，主要包括： 1.多酸團(tuán)簇-無機(jī)晶核共組裝進(jìn)行光催化分解水制氫與二氧化碳還原； 2.低維多孔材料的結(jié)構(gòu)與催化性能的研究。
• 羅老師：低維納米材料（納米顆粒、納米線/管/框/片、二維材料）的電子顯微分析以及基于電子顯微分析結(jié)果的先進(jìn)能源材料設(shè)計(jì)、制備和器件應(yīng)用。
• 焦老師：新能源材料設(shè)計(jì)、合成及應(yīng)用研究。主要包括：1二氧化碳電催化還原、電催化分解水制氫等；2原子界面電極材料的制備及能量轉(zhuǎn)換技術(shù)研究。
• 蔣老師：以儲(chǔ)能和能量轉(zhuǎn)化為導(dǎo)向的功能材料及器件研究，包括：鋰離子電池、鋰硫電池、鈉離子電池、固態(tài)電池及其它新型化學(xué)電源
• 丁老師：1.材料物理與化學(xué) 2.新能源材料與技術(shù) 3.納米多孔金屬 4.納米催化/電催化 5.化學(xué)合成及修飾 6.燃料電池 7.生物傳感器
• 孫老師：1. 仿生分離技術(shù)的開發(fā) 2. 光化學(xué) 3. 仿生催化體系的設(shè)計(jì)及作用機(jī)理研究 4. 仿生材料的設(shè)計(jì)、合成及應(yīng)用研究