技術(shù)編號(hào):5273586
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種金屬多層膜的制備方法,特別敘述了一種Ni/Cu/Ag多層膜的制備方法。背景技術(shù) 實(shí)踐和研究結(jié)果表明,高模量和低模量相交替的多層薄膜往往比單一組分形成的單層薄膜提供更充分的表面性能。因?yàn)槎鄬幽げ坏懈叩膹?qiáng)度和高抗塑變性能,而且可以提高底材與涂層的結(jié)合強(qiáng)度,減少涂層體系中的空隙,可以改變薄層內(nèi)應(yīng)力和裂紋的分布,提高材料的屈服強(qiáng)度和摩擦學(xué)性能。而當(dāng)多層膜的單層厚度達(dá)到納米尺寸時(shí),其在力學(xué)、電學(xué)、磁學(xué)和光學(xué)等方面常顯示出明顯不同與組成它們的單層薄膜材...
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