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技術(shù)編號(hào)：5276943

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專利說明圖案化基板之百萬赫超音波清洗方法與設(shè)備 本發(fā)明大致關(guān)于表面清洗的方式，而更特別地，是關(guān)于一種伴隨制造程序以百萬赫超音波清洗半導(dǎo)體基板的方法與設(shè)備。百萬赫超音波清洗法被廣泛地使用在半導(dǎo)體制程操作上，且能用在一整批晶片或單一片晶片的清洗程序上。對(duì)于一整批晶片的清洗程序，百萬赫超音波轉(zhuǎn)換器的振動(dòng)，在一置放有一整組半導(dǎo)體基板的清洗槽中的液體里，制造出聲的壓力波。單一晶片的百萬赫超音波清洗程序則使用一相對(duì)較小的轉(zhuǎn)換器置于一旋轉(zhuǎn)的晶片上，其中此轉(zhuǎn)換器會(huì)掃描過這...
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• 鐘老師：功能配合物能源催化轉(zhuǎn)化
• 余老師：設(shè)計(jì)和制備新能源電極材料研究材料在氫氣、氧氣、二氧化碳等能源小分子電催化轉(zhuǎn)化中的應(yīng)用，通過先進(jìn)表征手段和理論模擬計(jì)算理解催化位點(diǎn)和反應(yīng)機(jī)理，力圖發(fā)展幾種具有應(yīng)用前景的電催化劑材料。
• 匙老師：多酸團(tuán)簇、金屬有機(jī)框架材料的合成性能研究與計(jì)算模擬，主要包括： 1.多酸團(tuán)簇-無機(jī)晶核共組裝進(jìn)行光催化分解水制氫與二氧化碳還原； 2.低維多孔材料的結(jié)構(gòu)與催化性能的研究。
• 羅老師：低維納米材料（納米顆粒、納米線/管/框/片、二維材料）的電子顯微分析以及基于電子顯微分析結(jié)果的先進(jìn)能源材料設(shè)計(jì)、制備和器件應(yīng)用。
• 焦老師：新能源材料設(shè)計(jì)、合成及應(yīng)用研究。主要包括：1二氧化碳電催化還原、電催化分解水制氫等；2原子界面電極材料的制備及能量轉(zhuǎn)換技術(shù)研究。
• 蔣老師：以儲(chǔ)能和能量轉(zhuǎn)化為導(dǎo)向的功能材料及器件研究，包括：鋰離子電池、鋰硫電池、鈉離子電池、固態(tài)電池及其它新型化學(xué)電源
• 丁老師：1.材料物理與化學(xué) 2.新能源材料與技術(shù) 3.納米多孔金屬 4.納米催化/電催化 5.化學(xué)合成及修飾 6.燃料電池 7.生物傳感器
• 孫老師：1. 仿生分離技術(shù)的開發(fā) 2. 光化學(xué) 3. 仿生催化體系的設(shè)計(jì)及作用機(jī)理研究 4. 仿生材料的設(shè)計(jì)、合成及應(yīng)用研究