技術(shù)編號(hào):5277727
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于磁性薄膜的,特別涉及一種Co-P (鈷-磷)薄膜的制備方法。 背景技術(shù)隨著電子產(chǎn)品不斷向小型化、高密度化、大功率化發(fā)展,微電子封裝技術(shù)也在不斷革新,從金屬引線式向球柵陣列式、倒裝式等新興封裝技術(shù)發(fā)展。磁性薄膜材料對(duì)于許多微電子機(jī)械系統(tǒng),例如磁記錄裝置,偏壓微磁,或者是磁性微調(diào)節(jié)器等的設(shè)計(jì)或者制造都是不可缺少的組成部分。Co-P薄膜由于具有很好的磁、電、擴(kuò)散阻擋等的特性,目前,人們對(duì)于Co-P薄膜的研究表現(xiàn)出了極大的興趣例如,由于具有高的飽和磁化強(qiáng)...
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