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技術編號：5287616

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本發(fā)明通常涉及半導體電鍍方法和設備。更具體地說，本發(fā)明針對一種方法和設備，它利用外部影響增強導電材料在工件空腔部分的電鍍，在吸附于工件上表面上的添加劑和吸附于工件空腔部分中的添加劑之間產生差別。背景技術 制造多層集成電路(IC)需要許多步驟。這些步驟包括在半導體晶片或襯底上沉積導電和絕緣體材料，接著使用光敏抗蝕劑形成圖案(photo-resist patterning)、刻蝕等方法全部或部分去除這些材料。在光刻，形成圖案和刻蝕步驟之后，所形成的表面通常為非...
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• 鐘老師：功能配合物能源催化轉化
• 余老師：設計和制備新能源電極材料研究材料在氫氣、氧氣、二氧化碳等能源小分子電催化轉化中的應用，通過先進表征手段和理論模擬計算理解催化位點和反應機理，力圖發(fā)展幾種具有應用前景的電催化劑材料。
• 匙老師：多酸團簇、金屬有機框架材料的合成性能研究與計算模擬，主要包括： 1.多酸團簇-無機晶核共組裝進行光催化分解水制氫與二氧化碳還原； 2.低維多孔材料的結構與催化性能的研究。
• 羅老師：低維納米材料（納米顆粒、納米線/管/框/片、二維材料）的電子顯微分析以及基于電子顯微分析結果的先進能源材料設計、制備和器件應用。
• 焦老師：新能源材料設計、合成及應用研究。主要包括：1二氧化碳電催化還原、電催化分解水制氫等；2原子界面電極材料的制備及能量轉換技術研究。
• 蔣老師：以儲能和能量轉化為導向的功能材料及器件研究，包括：鋰離子電池、鋰硫電池、鈉離子電池、固態(tài)電池及其它新型化學電源
• 丁老師：1.材料物理與化學 2.新能源材料與技術 3.納米多孔金屬 4.納米催化/電催化 5.化學合成及修飾 6.燃料電池 7.生物傳感器
• 孫老師：1. 仿生分離技術的開發(fā) 2. 光化學 3. 仿生催化體系的設計及作用機理研究 4. 仿生材料的設計、合成及應用研究