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一種涂膠裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:53650

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專利摘要本實(shí)用新型涉及一種涂膠裝置,包括點(diǎn)膠針筒、用于承載硅片的吸盤、用于驅(qū)動該吸盤旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動電機(jī)、為吸盤提供吸力的抽氣設(shè)備、凈化工作腔、送氣風(fēng)機(jī)和抽氣風(fēng)機(jī),凈化工作腔左右端板開設(shè)氣孔,凈化工作腔的左側(cè)端板外設(shè)置有散流罩,送氣風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口經(jīng)過空氣過濾器連接散流罩的進(jìn)氣口,凈化工作腔的右側(cè)端板外設(shè)置有集風(fēng)罩,集風(fēng)罩的出氣口連接抽氣風(fēng)機(jī)的進(jìn)氣口,點(diǎn)膠針筒固定在凈化工作腔的頂部,吸盤設(shè)置于凈化工作腔內(nèi)且位于點(diǎn)膠針筒的正下方。本實(shí)用新型將涂膠放置于凈化工作腔內(nèi)進(jìn)行,不會污染操作環(huán)境,保護(hù)人員健康;凈化工作腔為涂膠過程提供了...
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