技術(shù)編號：5422514
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及露出于氣體流道的由鋁或鋁合金構(gòu)成的機(jī)械增壓泵、渦輪分子泵或干式泵(κ，4 # > )的部件的表面處理方法及由通過該表面處理方法處理過的部件構(gòu)成的機(jī)械增壓泵、渦輪分子泵或干式泵。背景技術(shù)作為現(xiàn)有的干式泵的構(gòu)造，已知例如如圖1所示，在連接以與機(jī)殼1的側(cè)面對置的方式配置的進(jìn)氣口 2及排氣口 3的流道中，設(shè)置轉(zhuǎn)子室4，在該轉(zhuǎn)子室4內(nèi)，設(shè)置由通過電動機(jī)5驅(qū)動的旋轉(zhuǎn)軸6軸支承的轉(zhuǎn)子7 12，由此構(gòu)成螺旋型的構(gòu)造。另外，在圖示的構(gòu)造中，在轉(zhuǎn)子室4內(nèi)連接有...
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