技術(shù)編號(hào)：5424531
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種電源，屬于一種鈦升華泵電源。技術(shù)背景由于鈦升華泵中的鈦絲材料在冶煉過程中溶有大量的氣體，一經(jīng)加熱就會(huì)釋放出來，影響鈦升華泵排氣效果甚至影響高真空的獲得。因此利用鈦升華泵來實(shí)現(xiàn)極高真空的關(guān)鍵是需要對(duì)鈦升泵的鈦絲在蒸發(fā)以前進(jìn)行徹底的除氣，使鈦絲蒸發(fā)時(shí)自身不再放氣，只是蒸發(fā)鈦原子形成鈦膜產(chǎn)生抽氣效果。目前鈦升華泵中的電源對(duì)鈦絲除氣是手動(dòng)操作，而且除氣不徹底。發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種能自動(dòng)徹底除去鈦絲中溶解的氣體的鈦升華泵電源。本實(shí)用新...
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