技術(shù)編號：5426217
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及到磁懸浮分子泵，具體是一種同步抑制磁懸浮分子泵轉(zhuǎn)子次臨界振動的方法和系統(tǒng)。背景技術(shù)磁懸浮分子泵利用磁軸承將分子泵轉(zhuǎn)子懸浮在空中，從而實現(xiàn)磁懸浮分子泵轉(zhuǎn)子在高速工作過程中無接觸、無摩擦和無需潤滑等特點。由于磁懸浮分子泵的上述優(yōu)點，因此被廣泛地應(yīng)用到高真空度、高潔凈度真空環(huán)境的獲得領(lǐng)域中。磁懸浮分子泵結(jié)構(gòu)一般如圖1所示，由以下幾個部分組成磁懸浮分子泵體、磁懸浮分子泵轉(zhuǎn)子、磁懸浮分子泵電機、第一徑向磁軸承、第二徑向磁軸承、軸向磁軸承、第一徑向保護軸承、...
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