技術(shù)編號：5445396
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及在高純度藥品、超大規(guī)模集成電路的制造裝置的超純水管路等中用于輸送高純度液體的、內(nèi)部能防止產(chǎn)生粉塵的泵裝置，屬于一種無粉塵離心泵裝置，根據(jù)該裝置的結(jié)構(gòu)，其軸密封構(gòu)件采用非接觸方式，通過適當?shù)拈g隙向系統(tǒng)外部產(chǎn)生一定量的泄露，以防止在泵內(nèi)因滑動摩擦產(chǎn)生粉塵以及向泵內(nèi)混入不純物。背景技術(shù) 一般來說，用于純水等的離心泵裝置，其液體接觸面通過進行全面研磨來提高不純物的去除精度，對于金屬離子的溶解則通過材料等級的選擇來解決。對于軸密封裝置部分，則是利用彈簧使機...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。