技術編號：5454357
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明的實施方式通常涉及泵，更具體為分配泵。甚至更具體的， 本發(fā)明的實施方式提供用于減少分配泵的殘存體積的系統(tǒng)和方法。 背景在半導體制造中使用的分配系統(tǒng)被設計成將準確量的流體分配到 晶片上。在一相系統(tǒng)中，流體從分配泵通過過濾器分配到晶片上。在 兩相系統(tǒng)中，流體在進入分配泵之前在過濾相中進行過濾。接著將分 配相中的流體直接分配到晶片上。在任何一種情況下，分配泵一般具有儲存特定體積的流體的室以 及移動的隔板以推動室內的流體。在分配前，隔板一般被定位使得不 考慮...
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