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一種吸氣劑串及其使用安全大抽速吸氣劑泵的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5455154

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本發(fā)明涉及一種操作簡便使用安全大抽速吸氣劑泵,屬于真空???用于真空排氣、粒子加速器、表面分析系統(tǒng)、實驗室真空系統(tǒng)、薄膜淀積、真空 加工系統(tǒng)、激光器、等離子機、中子發(fā)生器、便攜式儀器、核聚變裝置、宇宙模 擬裝置等近代科學(xué)技術(shù)及工業(yè)中,可提高系統(tǒng)的真空度,可使系統(tǒng)性能穩(wěn)定、可 靠性好、壽命長。 背景技術(shù)在80年代,北京有色金屬研究總院申請過專利"寬激活溫度范圍吸氣劑和 吸氣元件"(專利號CN85102889),該吸氣劑在鋯-石墨中添加LaNi5,使吸氣 劑能...
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