技術(shù)編號(hào)：5455493
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及真空泵，例如使用在半導(dǎo)體制造過程中。背景技術(shù) 當(dāng)真空泵使用在半導(dǎo)體制造過程中時(shí)，螺旋真空泵在公開號(hào)為No.5-164076的日本專利申請(qǐng)(參見3-5頁(yè)和圖1)中被公開。螺旋真空泵具有一對(duì)設(shè)置在轉(zhuǎn)子殼體(11)中的螺旋轉(zhuǎn)子(20和21)。轉(zhuǎn)子(20和21)安裝在轉(zhuǎn)子軸(24和25)上，轉(zhuǎn)子軸(24和25)分別由齒輪箱(12)所支撐。當(dāng)轉(zhuǎn)子軸(24和25)旋轉(zhuǎn)時(shí)，真空泵從螺旋真空泵的外部吸入空氣，壓縮它并且將壓縮空氣排出到螺旋真空泵的外部中。轉(zhuǎn)子軸(...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。