技術(shù)編號：5458082
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及定量噴出光刻膠等藥液的藥液供給裝置。技術(shù)背景在半導(dǎo)體晶片或玻璃基板等的表面上，由光刻工序和蝕刻工序制作微細(xì) 電路圖案。在光刻工序中，使用藥液供給裝置將光刻膠等藥液涂覆在晶片或 玻璃基板的表面上，收容在容器內(nèi)的藥液通過泵抽吸并通過過濾器等從噴嘴 涂覆到晶片等被涂覆物上。若雜質(zhì)等粒子也就是微粒混合到涂覆藥液中，則 它們將附著在被涂覆物上，引起圖案缺陷，從而使產(chǎn)品的合格率降低。由于 容器內(nèi)的藥液滯留在泵內(nèi)會變質(zhì)，則存在變質(zhì)后的藥液變?yōu)槲⒘５那樾?，?而...
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