技術(shù)編號(hào)：5458535
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及一種外轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)的磁軸承渦輪真空分子泵 背景技術(shù) 渦輪真空分子泵是一種機(jī)械式真空泵，它通過高速旋轉(zhuǎn)的多級(jí)渦輪轉(zhuǎn)子葉片和靜止渦輪葉片的組合進(jìn)行抽氣，在分子流區(qū)域內(nèi)對(duì)被抽氣體產(chǎn)生很高的壓縮比，從而獲得所需要的高真空和超高真空性能。采用了磁力軸承技術(shù)的渦輪真空分子泵，由于軸承無需加入任何潤滑介質(zhì)，葉輪在無油條件下運(yùn)行，因此在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，高真空區(qū)域不會(huì)受到油蒸汽的污染，不需要冷阱和油擋板，即可獲得清潔的高真空和超高真空環(huán)境；此外，由于軸承上沒有機(jī)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。