技術(shù)編號(hào)：5506345
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種真空泵的控制裝置，該真空泵具有為使排氣目標(biāo)空間成為預(yù)定真空度進(jìn)行排氣的泵機(jī)部分以及驅(qū)動(dòng)該泵機(jī)部分的電動(dòng)機(jī)部分。背景技術(shù) 過去，例如特開平9-306972公報(bào)中公開的半導(dǎo)體制造裝置是為人所熟知的，此型半導(dǎo)體制造裝置設(shè)有與對晶片(基板)進(jìn)行成膜處理等的處理室相對的負(fù)載鎖定室。在這種裝置中，經(jīng)過負(fù)載鎖定室來在處理室和半導(dǎo)體制造裝置的外部之間進(jìn)行晶片的交換。在負(fù)載鎖定室中，通過閥門來連接使所述艙成為預(yù)定真空度的真空泵。這種閥門具有能夠從外部進(jìn)行的操作...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。