技術(shù)編號：5545575
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及一種滾珠式自動啟閉旋轉(zhuǎn)隔離閥，尤其是一種使用在單晶爐節(jié)省設(shè)備占用空間、提高自動化程度的單晶爐滾珠式自動啟閉旋轉(zhuǎn)隔離閥。背景技術(shù)目前，市場需求單晶爐正在向大直徑、全自動控制方向發(fā)展，制備單晶的晶體生長設(shè)備，爐室直徑也在隨之不斷增加。單晶爐的自動化除了程序控制的整個過程還包括爐體的各部分機(jī)械運動的自動控制，作為單晶爐上維持主爐室局部壓力和溫度等工藝條件隔離閥的自動化程度就顯得尤為重要。目前這種旋轉(zhuǎn)式隔離閥因需要實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)與升降兩套動作，現(xiàn)多為手動控...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。