技術(shù)編號(hào):5608683
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種流體控制裝置,用于例如在半導(dǎo)體處理裝置中將多種材料氣體進(jìn)行適當(dāng)切換而提供給處理室的目的。背景技術(shù) 過(guò)去,作為用于將多種材料氣體進(jìn)行切換而提供給處理室的目的的流體控制裝置(31),如圖5所示,人們已經(jīng)知道其具有長(zhǎng)方體狀主體(32);在主體(32)的長(zhǎng)度方向的兩端在寬度方向上隔開(kāi)間隔地設(shè)置的主氣體出入口(33)和排氣出入口(未圖示);連通主氣體出入口(33)彼此之間的主氣體通道(41);連通排氣出入口彼此之間的排氣氣體通道(未圖示);以規(guī)定的間隔...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。