技術編號：5616560
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。—種化學品供應系統(tǒng)用閥箱[][0001]本實用新型涉及半導體制造，具體地說是一種化學品供應系統(tǒng)用閥箱。[背景技術][0002]隨著我國半導體行業(yè)的繼續(xù)發(fā)展，芯片生產(chǎn)線在我國也已開始越來越規(guī)?；淠康氖菍崿F(xiàn)對芯片上的雜質、微粒子進行清洗等。而作為半導體制程前端的化學品供應系統(tǒng)，其工作中的任何問題都可能會造成無法估量的損失，因此為了不斷提高化學品供應系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性，半導體制造廠商已越來越重視該制程中的每一個化學品供應設備。 根據(jù)目前化學品供應系統(tǒng)所使用...
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