技術(shù)編號(hào)：5631317
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。用于處理室的密封裝置領(lǐng)域本發(fā)明的實(shí)施方式一般涉及真空處理室，且特別涉及到用于這類處理室的密封件。背景通常，通過包括在待接合(adjoin)的表面之間設(shè)置的密封墊、0型環(huán)或相似類型的密封件來防止在表面之間所形成的接合(joint)處發(fā)生泄漏。用足以壓縮密封件并防止氣流通過該密封接合處的力可將結(jié)合表面壓向彼此。然而，在一些工藝中，諸如石英鐘形罩之類的易碎部件必須與諸如排氣歧管(manifold)這樣的排氣部件匹配，這里由于易碎部件而不可對(duì)密封劑施加較大的力。在...
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