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可提高模態(tài)性能的支架的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5636548

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本發(fā)明涉及一種固定裝置,且特別涉及一種可提高模態(tài)性能的固定裝置。 背景技術(shù)在光學(xué)裝置,尤其是光刻機(jī)的結(jié)構(gòu)當(dāng)中,激光干涉儀支架結(jié)構(gòu)作為激光干涉儀的 支撐結(jié)構(gòu),其振動(dòng)性能受到關(guān)注。該支架結(jié)構(gòu)的模態(tài)性能和結(jié)構(gòu)的動(dòng)態(tài)響應(yīng)性能將直接影 響激光干涉儀的動(dòng)態(tài)穩(wěn)定性繼而影響激光干涉儀的測(cè)量精度。為了達(dá)到較好的模態(tài)性能要求,激光干涉儀支架通常采用板材組成的箱體式結(jié) 構(gòu),這種結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)是在提供激光干涉儀支架支撐功能的前提下,通過(guò)減輕自身的質(zhì)量來(lái) 提高模態(tài)性能。由于結(jié)構(gòu)振動(dòng)性能...
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