技術(shù)編號(hào)：5680528
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及固定技術(shù)，尤其涉及一種固定機(jī)構(gòu)。技術(shù)背景半導(dǎo)體制造中所使用的諸多機(jī)臺(tái)(例如刻蝕機(jī)臺(tái)或氣相沉積機(jī)臺(tái)等)均設(shè) 置有一供晶圓進(jìn)出的開口，為避免機(jī)臺(tái)中的生成物污染環(huán)境，同時(shí)也避免外界 的污染物進(jìn)入機(jī)臺(tái)，機(jī)臺(tái)針對(duì)該開口設(shè)置有伸縮門，當(dāng)晶圓進(jìn)出機(jī)臺(tái)時(shí)，該伸 縮門從堵塞開口的位置降下以露出開口供晶圓進(jìn)出，當(dāng)無晶圓進(jìn)出該機(jī)臺(tái)時(shí)， 該伸縮門升到可堵塞該開口的位置。該伸縮門與一升降軸連接，并在升降軸的 驅(qū)動(dòng)下做升降運(yùn)動(dòng)。參見圖1，顯示了升降軸和伸縮門間的連接結(jié)構(gòu)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。