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一種用于真空接口為薄壁外置型鍺探測器的接口閥門的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5700289

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一種用于真空接口為薄壁外置型鍺探測器的接口閥門,包括固定底板、垂直固定在固定底板一側(cè)的中空殼體、垂直設(shè)置在殼體中部的抽真空接口、設(shè)置在固定底板另一側(cè)的兩個U型固定板、同軸設(shè)置在中空殼體內(nèi)且能軸向運(yùn)動的拉桿,拉桿的一端伸出固定底板且端部設(shè)置有與真空密封塞的盲孔匹配的螺紋,其另一端伸出中空殼體非固定端,拉桿與中空殼體非固定端之間被密封裝置密封。本實(shí)用新型在不泄漏真空的前提下可隨時打開、關(guān)閉探測器的真空室,保障鍺晶體不受人為的二次污染。專利說明一種用于真空接口為...
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