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一種超長行程高加速高精密定位一維平臺(tái)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5710999

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本實(shí)用新型提供了一種超長行程高加速高精密定位一維平臺(tái),包括底座,直線電機(jī)動(dòng)子,粗定位平臺(tái),壓電致動(dòng)器,高精密定位平臺(tái),第一直線電機(jī)定子,第一緩沖連接板,第二直線電機(jī)定子,第二緩沖連接板。粗定位平臺(tái)通過壓電致動(dòng)器連接高精密定位平臺(tái),粗定位平臺(tái)與所述超長行程直線電機(jī)定子連接,第一超長行程直線電機(jī)定子與第二超長行程直線電機(jī)定子串聯(lián)連接,第一緩沖連接板與第二緩沖連接板通過串聯(lián)連接來實(shí)現(xiàn)粗定位平臺(tái)超長行程,第一超長行程直線電機(jī)定子通過第一緩沖連接板與大理石底座連接,...
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