技術(shù)編號：5734391
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型關(guān)于一種用以承載設(shè)備的平臺結(jié)構(gòu)，特別是一種高阻尼吸振平 臺結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)在制造工藝逐漸邁向納米等級分辨率的今日，無論在電子或半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)， 多數(shù)制程及檢測設(shè)備對于環(huán)境微振動相當(dāng)敏感，在抑制環(huán)境振動的要求上將更 為嚴(yán)苛。由于在不良的微振動環(huán)境下，常會造成儀器的誤動作或者測量的結(jié)果 難以判讀，所以這些制程及檢測設(shè)備的承載平臺必須要具備優(yōu)良的動態(tài)特性， 使得無論是由環(huán)境傳來的振動或者是平臺設(shè)備本身所產(chǎn)生的振動，在運作的頻 寬范圍能有效的被消除。傳統(tǒng)的平臺...
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