技術(shù)編號(hào)：5757180
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及節(jié)流閥，尤其涉及氦氣節(jié)流閥。主要用于向超高真空系統(tǒng)中注入微量高純度的氦氣。另一方面，以往對(duì)超高真空材料的研究中發(fā)現(xiàn)不同材料對(duì)不同氣體的滲透能力有很大差別，在25～400℃范圍內(nèi)，在相同氣壓差的條件下，石英玻璃對(duì)氦氣的滲透速率比對(duì)其他氣體的滲透速率高3個(gè)數(shù)量級(jí)以上，而且滲透速率會(huì)隨著石英玻璃溫度的升高而升高。人們?cè)趯ふ液线m的超高真空密封材料時(shí)需要考慮到這個(gè)特性。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的采用如下技術(shù)方案過濾式溫控氦氣微漏閥由通氣通道和流速控制器組成...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。