技術(shù)編號：5758795
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及的是一種采用超聲波懸浮和氣浮的混合懸浮減振裝置，屬于精密驅(qū)動領(lǐng)域。背景技術(shù)隨著技術(shù)的發(fā)展，超精密運(yùn)動平臺已經(jīng)發(fā)展成為許多高精度、復(fù)雜設(shè)備的重要組成部件，其運(yùn)動機(jī)構(gòu)的精度直接決定了器件運(yùn)動所要求達(dá)到的精度。傳統(tǒng)的超精密運(yùn)動平臺的執(zhí)行機(jī)構(gòu)主要是由接觸式的移動副和旋轉(zhuǎn)副組成，所以各運(yùn)動副之間不可避免的有摩擦、磨損、發(fā)熱等現(xiàn)象，而且剛性結(jié)構(gòu)也不能較好的消除機(jī)械結(jié)構(gòu)的振動，更重要的是目前這類結(jié)構(gòu)的運(yùn)動精度只能達(dá)到微米級。因而已經(jīng)不能滿足IC制造和超精密加工...
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