技術(shù)編號：5792995
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。相關(guān)申請的交叉引用本申請要求2009年8月17日提交的美國臨時專利申請No. 61/234，522的利益， 其內(nèi)容通過引用并入本文。背景技術(shù)本公開涉及閥和半導(dǎo)體機電裝置，并且涉及例如被微閥裝置(即，微型機械先導(dǎo)閥)定位的壓力控制閥等控制閥。MEMS(微電子機械系統(tǒng))是這樣一類系統(tǒng)，其物理上是小型的，具有尺寸處于微米級或者更小(即，小于約10微米)的一些特征或者間隙。這些系統(tǒng)具有電氣和機械部件。 術(shù)語“微型加工”通常應(yīng)理解為是指MEMS裝置的移動部和三維結(jié)構(gòu)...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。