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氦循環(huán)、凈化及儲(chǔ)存系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5808751

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本發(fā)明公開(kāi)了一種氦循環(huán)、凈化及儲(chǔ)存系統(tǒng),該系統(tǒng)包括用于向系統(tǒng)中注入氦氣的壓力氣瓶、串接在壓力氣瓶的輸出端上的抽氣泵、串接在抽氣泵的輸出端的濾油過(guò)濾器、串接在濾油過(guò)濾器的輸出端的低溫過(guò)濾器、串接在低溫過(guò)濾器的輸出端的氫吸附器,氫吸附器的輸出端通過(guò)輸氣管路輸入待供應(yīng)氦氣的低溫恒溫器中,該系統(tǒng)還包括用于在低溫恒溫器停止工作時(shí)回收系統(tǒng)內(nèi)氦氣的儲(chǔ)氣罐,該儲(chǔ)氣罐的出氣口連接在所述抽氣泵的輸入端,進(jìn)氣口連接在濾油過(guò)濾器與低溫過(guò)濾器之間,本系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,通過(guò)本系統(tǒng)向低溫恒...
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