技術(shù)編號(hào):5809082
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種低壓三氟化硼儲(chǔ)氣罐,特別是涉及一種用在硅和鍺外 延、擴(kuò)散和離子注入過(guò)程的P型摻雜源三氟化硼氣體的儲(chǔ)氣罐。 背景技術(shù)高純度三氟化硼(BF3)氣體是硅和鍺外延、擴(kuò)散和離子注入過(guò)程的P型摻雜 源,在半導(dǎo)體工業(yè)有著極其重要的應(yīng)用。通常,高純度三氟化硼氣體是用高壓鋼瓶?jī)?chǔ)存,氣壓高達(dá)10-100MPa,在 工業(yè)應(yīng)用中存在著潛在的危險(xiǎn)。因而,半導(dǎo)體工業(yè)界對(duì)于能夠在低壓條件下儲(chǔ) 存高純度三氟化硼氣體的儲(chǔ)氣罐有著一定的需求。近年來(lái),隨著碳納米管儲(chǔ)氣研究的不...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。