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技術(shù)編號(hào)：5809529

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本實(shí)用新型提供一種可自動(dòng)補(bǔ)充MO源的裝置，包括MO源鋼瓶，所述MO源鋼瓶上設(shè)置有進(jìn)氣管和出氣管，MO源鋼瓶的左側(cè)設(shè)置有MO源儲(chǔ)罐，所述進(jìn)氣管分支路連接在MO源儲(chǔ)罐上，所述MO源儲(chǔ)罐通過氣管連接在惰性氣體儲(chǔ)存罐上，所述MO源儲(chǔ)罐與惰性氣體儲(chǔ)存罐之間設(shè)置有真空泵，所述MO源鋼瓶?jī)?nèi)部設(shè)置有液位探頭，通過液位探頭控制MO源儲(chǔ)罐的開啟，所述出氣管分支路連接在MO源儲(chǔ)罐上。通過MO源儲(chǔ)罐對(duì)MO源鋼瓶進(jìn)行補(bǔ)料，并且通過液位探頭對(duì)MO源鋼瓶?jī)?nèi)部的MO源殘留量，并自動(dòng)進(jìn)行補(bǔ)...
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