技術(shù)編號：5818848
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種充氣設(shè)備，特別是有關(guān)于一種用以將氣體導(dǎo)入至少一 個用以存放半導(dǎo)體組件或光罩的存放裝置中的充氣設(shè)備。背景技術(shù)近代半導(dǎo)體科技發(fā)展迅速，其中光學(xué)微影技術(shù)扮演重要的角色，只要 是關(guān)于圖形定義，皆需依賴光學(xué)微影技術(shù)。光學(xué)微影技術(shù)在半導(dǎo)體的應(yīng)用 上，是將設(shè)計好的線路制作成具有特定形狀可透光的光罩。利用曝光原理， 則光源通過光罩投影至硅晶圓可曝光顯示特定圖案。由于任何附著于光罩 上的塵埃顆粒如微粒、粉塵或有機物都會造成投影成像的質(zhì)量劣化，用于 產(chǎn)生圖形的光...
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