技術(shù)編號(hào)：5829963
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及缺陷檢查方法和裝置，更詳細(xì)而言，涉及使用光學(xué)式 的檢査和利用電子射線的檢查的缺陷檢査方法和裝置。背景技術(shù)作為檢查形成有各種形狀的圖案的半導(dǎo)體裝置(半導(dǎo)體芯片)的 方法，能夠使用用于調(diào)查圖案形狀的缺陷的各種檢查方法。例如在現(xiàn) 有技術(shù)中使用，利用光學(xué)顯微鏡等光學(xué)檢査裝置(檢査方法)調(diào)査圖 案形狀的缺陷的方法。但是，隨著圖案形狀的微細(xì)化，僅以光學(xué)方法 檢測(cè)缺陷變得困難。因此，提出了通過(guò)在圖案形狀的缺陷檢查中使用 電子射線，檢測(cè)更加微細(xì)的圖案形狀的缺陷的...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。