技術(shù)編號：5830711
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及故障源設(shè)備確定系統(tǒng)，詳細(xì)而言，本發(fā)明涉及在包含多個工序 的生產(chǎn)線中確定成為產(chǎn)品欠佳等的根源的異常的工序或設(shè)備的系統(tǒng)。背景技術(shù)以往，包含多個工序的半導(dǎo)體器件和薄膜器件等的生產(chǎn)線中，為了實(shí)現(xiàn)產(chǎn) 品質(zhì)量提高和設(shè)備穩(wěn)定化，進(jìn)行各種在線檢査，導(dǎo)入根據(jù)在線檢查得到的檢查 信息確定成為產(chǎn)品欠佳的根源的異常的工序或設(shè)備的系統(tǒng)。例如日本國特開2005 — 197629號公報揭示的技術(shù)，根據(jù)作為一種在線檢査的圖案缺陷檢查得到 的信息對產(chǎn)品基板的缺陷分布狀態(tài)進(jìn)行分類，...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。