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一種用于測量直線位移的差分平面反射鏡激光干涉系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5836198

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本發(fā)明涉及激光精密測量技術(shù),特別是一種用于測量直線位移的差分平面反射鏡激光干涉系統(tǒng)。(二) 背景技術(shù)差分平面反射鏡干涉儀是80年代中期研制的一種新型激光干涉儀,其主要特點(diǎn)是光學(xué)分辨率高且能使光程死區(qū)達(dá)到最小,具有較高的穩(wěn)定性和測量精度,可完成各項(xiàng)參數(shù)的標(biāo)準(zhǔn)測量,如線性位置精度、重復(fù)定位精度、角度、直線度、垂直度、平行度等,所以適應(yīng)于各種幾何量精密計(jì)量的測量和基準(zhǔn)的建立,包括軍工、航天等精密基準(zhǔn)計(jì)量,可以用來校準(zhǔn)各種數(shù)控機(jī)床和三坐標(biāo)測量機(jī),并且可以用以控制光...
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