技術(shù)編號(hào)：5837039
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種絕對(duì)波長(zhǎng)校準(zhǔn)儀，主要適用于波長(zhǎng)計(jì)和光譜儀。背景技術(shù)絕對(duì)波長(zhǎng)是激光的一項(xiàng)基本光學(xué)參數(shù)。在激光應(yīng)用中具有重要的作用，例如為了修正光刻機(jī)中投影物鏡的成像像差、提高設(shè)計(jì)精度，需要知道絕對(duì)激光波長(zhǎng)。在激光光譜技術(shù)中，為了提高激光輸出的穩(wěn)定性，需要實(shí)時(shí)測(cè)量激光輸出波長(zhǎng)，并根據(jù)輸出波長(zhǎng)與目標(biāo)波長(zhǎng)的漂移量來調(diào)諧光柵等元件調(diào)諧激光波長(zhǎng)，從而實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)的穩(wěn)定控制。因此，對(duì)激光絕對(duì)波長(zhǎng)的標(biāo)定和測(cè)量具有重要意義。先在技術(shù)中，采用多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)具并用迭代算法來校準(zhǔn)激光波長(zhǎng)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。