技術(shù)編號：5837230
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于位移精密測量傳感器。 背景技術(shù)直線位移和角位移測量是最基本、最普通的測量。為了兼顧測量分辨率和量 程，許多位移傳感器采用了在基體上精密刻線的柵式結(jié)構(gòu)，如光柵、磁柵等，對 其在運動過程中發(fā)出的脈沖信號進行累加計數(shù)，即實現(xiàn)位移測量。高精度高密度 的刻線引起很多問題， 一方面刻線越密，就越容易受到污染。無論怎么密封保護， 在生產(chǎn)現(xiàn)場惡劣工況下，其微小的粉塵水氣都可能污染柵線，使之計數(shù)失效。另 一方面，刻線不可能無限地密，而現(xiàn)有的密度遠不能滿足分辨力的要...
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