技術(shù)編號：5837435
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及硅微壓阻式加速度計，具體是一種能降低溫漂的硅微壓阻式加 速度計。背景技術(shù)硅微壓阻式加速度計的設(shè)計思路來源于壓力傳感器，早在1977年美國 Stanford大學(xué)、加州大學(xué)Berkley分校和Draper實驗室采用微機(jī)械加工工藝生 產(chǎn)的硅微加速度計就是采用壓阻檢測方法，其應(yīng)用體硅加工工藝在硅基上加工 出懸臂梁和質(zhì)量塊，并在懸臂梁上采用離子注入工藝制作壓敏電阻，通過連接 構(gòu)成惠斯通電橋。當(dāng)有加速度作用于質(zhì)量塊時，會導(dǎo)致懸臂梁發(fā)生與加速度大 小成正比的應(yīng)...
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