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微機(jī)械二維風(fēng)速風(fēng)向傳感器及其信號(hào)處理電路的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5839739

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本發(fā)明涉及一種基于微機(jī)械(MEMS)剝離工藝的二維熱膜風(fēng)速風(fēng)向傳感器, 恒溫差控制和測(cè)量電路。背景技術(shù)風(fēng)速、風(fēng)向是氣象測(cè)量中非常重要的組成部分。眾所周知,利用機(jī)械加工的 風(fēng)杯和風(fēng)向標(biāo)雖然也能測(cè)量風(fēng)速和風(fēng)向,但這些機(jī)械裝置因具有移動(dòng)部件而易磨損,同時(shí)具有體積較大,價(jià)格昂貴,需要經(jīng)常維護(hù)等缺點(diǎn)。基于MEMS加工技術(shù) 的微型流速傳感器具有體積小,價(jià)格低,產(chǎn)品一致性好的特點(diǎn),是近幾年來(lái)流體 傳感器研究的熱點(diǎn)。Van Putten (人名)在1974年提出了第一個(gè)基...
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