技術(shù)編號(hào):5839739
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種基于微機(jī)械(MEMS)剝離工藝的二維熱膜風(fēng)速風(fēng)向傳感器, 恒溫差控制和測(cè)量電路。背景技術(shù)風(fēng)速、風(fēng)向是氣象測(cè)量中非常重要的組成部分。眾所周知,利用機(jī)械加工的 風(fēng)杯和風(fēng)向標(biāo)雖然也能測(cè)量風(fēng)速和風(fēng)向,但這些機(jī)械裝置因具有移動(dòng)部件而易磨損,同時(shí)具有體積較大,價(jià)格昂貴,需要經(jīng)常維護(hù)等缺點(diǎn)。基于MEMS加工技術(shù) 的微型流速傳感器具有體積小,價(jià)格低,產(chǎn)品一致性好的特點(diǎn),是近幾年來(lái)流體 傳感器研究的熱點(diǎn)。Van Putten (人名)在1974年提出了第一個(gè)基...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。