技術(shù)編號：5841857
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。中介光學(xué)感測裝置及高精度半導(dǎo)體元件檢測機(jī)臺本發(fā)明是關(guān)于一種光學(xué)感測裝置，尤其是一種中介光學(xué)感測裝置及帶有該裝置的高精度半導(dǎo)體元件的檢測機(jī)臺。背景技術(shù)集成電路元件成品前身為自晶圓(Wafer)精密切割分離為個體的裸晶(Bare-Die or Bare-Chip)，以往的裸晶，多先經(jīng)打線封裝后，形成保護(hù)良好的半導(dǎo)體裝置受測。但一 方面半導(dǎo)體裝置的腳位逐漸增加，體積卻大幅縮減，使得腳位的密度驟增，檢測難度因而提高。 另一方面，例如記憶體等半導(dǎo)體裝置，隨記憶容量的...
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