技術(shù)編號：5844242
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及光波導(dǎo)型生物化學(xué)傳感器芯片及光波導(dǎo)型生物化學(xué)傳感器芯片的制造方法，特別涉及定量測定水溶液中和生物的生物分子的數(shù)量、性狀用的光波導(dǎo)型生物化學(xué)傳感器芯片及光波導(dǎo)型生物化學(xué)傳感器芯片的制造方法。背景技術(shù)以往，作為小型且高靈敏度生物化學(xué)傳感器芯片，提出了包括光柵耦合器和具有生物分子識別功能及信息變換功能的感測膜，并利用光波導(dǎo)層表面產(chǎn)生的損耗波的平面光波導(dǎo)型生物化學(xué)傳感器芯片的方案。 例如，特許文獻1中揭示了利用溶膠法在基板上形成由膜厚620nm的氧化硅膜...
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