技術(shù)編號(hào)：5848756
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種在生產(chǎn)柔性基材金屬化薄膜過(guò)程中，對(duì)金屬化薄膜的電阻進(jìn)行在線測(cè)量的裝置。 背景技術(shù)在柔性基材金屬化薄膜的各項(xiàng)性能參數(shù)中，薄膜電阻是最重要最直接的參數(shù)之一。它不僅可以反映薄膜的厚度，而且與薄膜的光學(xué)等其它性能密切相關(guān)。因此，成膜過(guò)程中，通過(guò)在線連續(xù)測(cè)量薄膜電阻，從而控制金屬化薄膜的成膜條件，使所成薄膜的表面電阻在設(shè)定水平上均勻一致，由此還可以控制薄膜的其它性能，提高產(chǎn)品質(zhì)量和合格率。 現(xiàn)有在線測(cè)量金屬化薄膜電阻的技術(shù)中，有一種方法是將金屬化薄...
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