技術(shù)編號：5849847
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及半導(dǎo)體器件電性參數(shù)的測試，尤其是與半導(dǎo)體器件引腳接觸的測試片，屬于半導(dǎo)體器件測試。 背景技術(shù)目前，在半導(dǎo)體器件的電性參數(shù)測試都是通過器件引腳和測試片之間的電接觸來 實現(xiàn)的。測試片的電接觸性能會極大地影響其使用壽命和測試合格率。測試片表面一般都 是貴金屬電鍍層，電鍍層不僅具有極高的硬度，耐磨性，低的接觸電阻和良好的耐蝕性，而 且可以節(jié)約大量的貴重金屬，降低成本。傳統(tǒng)的測試片是由三層結(jié)構(gòu)組成的基材一般為鈹 銅，中間層為增加耐磨性的鍍鎳層，測試層為...
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