技術(shù)編號:5859503
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種微型光譜儀,尤其涉及一種基于微電子機(jī)械系統(tǒng)技術(shù)(MEMS) 的微型光譜儀。背景技術(shù)光譜學(xué)是測量紫外、可見、近紅外和紅外波段光強(qiáng)度的一種技術(shù),被廣泛應(yīng)用于多 種領(lǐng)域,如顏色測量、化學(xué)成份的濃度檢測或電磁輻射分析等。傳統(tǒng)光譜測量儀由眾多光 學(xué)、電學(xué)與機(jī)械等分立器件組成,需要極其復(fù)雜的光路系統(tǒng)與精密機(jī)械結(jié)構(gòu),降低了整個儀 器的可靠性,對儀器工作、存放環(huán)境也有著嚴(yán)格的要求,限制了對其更加廣泛的應(yīng)用。特別 是針對在線(現(xiàn)場)光譜測量的應(yīng)用需求,傳統(tǒng)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。