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位移傳感器的制作方法技術資料下載

技術編號:5861711

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本發(fā)明涉及位移傳感器。背景技術 為了控制用于顯微機械加工和基因操作中的操作器等微調(diào)節(jié)器的動作,要求小型輕量、以微米到納米的分辨率對運動對象物體的位移量進行檢測和測量。以前、關于以微米到納米的分辨率來檢測和測量位移量,已提出了各種各樣的方案,并已實用化。代表性的方法有向對象物體照射激光,檢測隨著對象物體的位移所產(chǎn)生的相位差的方法,或者利用與參考光之間的干涉現(xiàn)象的方法等激光測量方法。通過利用激光測量技術等,可以進行納米級位移量的測量。但是,與大小從幾厘米到十幾...
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